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          EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

          簡要描述:EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

          • 產品型號:
          • 廠商性質:代理商
          • 更新時間:2024-06-08
          • 訪  問  量:842

          詳細介紹

          品牌其他品牌產地類別國產
          類型其他應用領域能源,電子/電池,電氣

          EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

          EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

          EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀產品介紹:

          EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

          EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀




          產品特點:

          · 非接觸式

          · 快速、高重復度測量

          · 高分辨率成像

          · 最大 300 x 300 mm(12")的樣品成像測量

          · 封裝的導電層的表征

          · 軟件集成分析功能,例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析

          · 測量數據保存和導出功能

          · 缺陷識別、分析


          產品優勢:

          ·  非接觸式成像

          ·  高速 (5 分鐘測量10,000個檢測點)

          ·  重復性和精確性

          ·  高分辨率 (9 90,000個檢測點)

          ·  封裝后的膜層成像

          ·  均勻性和缺陷成像


          產品參數

          測量技術

          非接觸式渦流傳感器

          基材

          晶圓(錠)、玻璃、箔等

          最大限度。掃描區域

          12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根據要求更大)

          邊緣效應校正/排除

          2 10 毫米(取決于尺寸、范圍、設置和要求)

          最大限度。樣品厚度/傳感器間隙

          3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的樣品定義)

          金屬薄膜(如鋁、銅)的厚度測量

          2 nm 2 mm (根據薄層電阻)

          掃描間距

          1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他應要求提供)

          每次測量點數(方形樣品)

          0.5 分鐘 100

          個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點

          掃描時間

          8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 10 分鐘(1 – 10 毫米間距)

          12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 6 分鐘(2.5 – 25 毫米間距)

          設備尺寸 (w/h/d)

          31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米

          重量

          90公斤

          更多可用功能

          金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器


          VLSR

          LSR

          MSR

          HSR

          VHSR

          范圍 [歐姆/平方]

          0.00010.1

          0.110

          0.1100

          102000

          1,000200,000

          精度/偏差



          ± 1%

          ± 13%

          ± 3 5%

          重復性 (2σ)



          < 0.5%

          < 1%

          < 0.5%

          軟件和設備操控:

          · 人性化的軟件

          · 實時測繪測量

          · 易于使用的統計分析選項

          · 預定義的測量和產品配方(尺寸、間距、閾值)

          · CSV 和 pdf 導出

          · 3 用戶級別

          · 用于參數轉換的材料數據庫

          · 邊緣效應補償

          · 數據的存儲和導入

          · 數據集的導出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)



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