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          FilmTek 4500反射透射膜厚測量儀

          簡要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚測量儀利用新的多角度差分極化測量(MADP)技術與SCI patented的差分功率譜密度(DPDS)技術相結合,提供了一種在工業中具有佳的分辨率、準確度和可重復性的光學薄膜計量工具。通過提供更高的精度和準確度,FilmTek 4500使后期集成電路生產過程中的薄膜過程控制更加嚴格,從而提高了整個器件的產量。

          • 產品型號:
          • 廠商性質:代理商
          • 更新時間:2019-02-03
          • 訪  問  量:919

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          Measurement Features

          FilmTek™

          4000 / 4500

          Index of Refraction折射率
          (at 2µm thickness)

          ±0.00002

          Thickness Measurement Range

          膜厚范圍

          3nm-350µm

          Maximum Spectral Range (nm)

          大光譜范圍

          190-1700nm

          Standard Spectral Range (nm)

          標準光譜范圍

          380-1000nm

          Reflection

          反射

          Yes

          Transmission

          透射

           Yes(4500)

          Spectroscopic Ellipsometry

          橢圓光譜技術

          No 

          Power Spectra Density

          功率譜密度

          Yes

          Multi-angle Measurements

          多角度測量(DPSD)

          Yes

          TE & TM Components of Index

          TETM成分指數

          Yes

          Multi-layer thickness

          多層厚度

          Yes

          Index of Refraction

          折射率

          Yes

          Extinction (absorption) Coefficient

          消光(吸收)系數

          Yes

          Energy band gap

          能帶隙

          Yes

          Composition

          組成

          Yes

          Crystallinity

          結晶度

          Yes

          Inhomogeneous Layers

          非均勻層

          Yes

          Surface Roughness

          表面粗糙度

          Yes

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